TITAN100高濃度臭氧發生器濃度測試現場
北京(jing)同林(lin)代(dai)理的Titan100高濃度臭氧發生器可用于(yu)ALD、CLD、藥物合成等應用,為了保(bao)證濃度的穩定(ding)(ding)性,同林(lin)對其進行濃度測(ce)試。視頻中將壓力(li)、氣量、和功率調整完畢后,開(kai)始測(ce)試,濃度穩定(ding)(ding)在140mg/L左右,濃度波動在1mg/L內(nei)。